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進(jìn)口激光干涉儀選擇API XD測量方法

主要特性：

¾一次安裝能測量6項精度指標包括線(xiàn)性定位誤差、 XX及YY兩個(gè)方向直線(xiàn)度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量?jì)奢S間垂直度
¾ 兩點(diǎn)調光線(xiàn). 無(wú)需三腳架. 測量調整簡(jiǎn)單快速
¾ 傳統激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時(shí)間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線(xiàn)度/小角度/垂直度/轉臺時(shí), 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試
 

良好的結構設計
API公司采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開(kāi)，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤(pán)定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線(xiàn)向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

API XD干涉儀線(xiàn)性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數;
¾ 可利用電腦中的直線(xiàn)度實(shí)時(shí)顯示,
數字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點(diǎn)調光，對光迅速

直線(xiàn)度測量— API XD的方法

應用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類(lèi)似于自準直儀)
¾ 對直線(xiàn)度進(jìn)行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線(xiàn)性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線(xiàn)度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無(wú)需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節省了測量所占用機床的時(shí)間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來(lái)測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線(xiàn)經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線(xiàn)會(huì )在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響，調整光路容易、:
 

API XD 檢測導軌平行度(示意)：