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api六維激光干涉儀

5D/6D標準型： 
1. 線(xiàn)性：0.5ppm 
2. 測量范圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. 大范圍：800角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. 大范圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 線(xiàn)性：0.2ppm 
2. 測量范圍：25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 
4. 大范圍：400角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 
7. 大范圍：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 線(xiàn)性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據用戶(hù)要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. 大范圍：500角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. 大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg

5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測量線(xiàn)性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線(xiàn)度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應用結果表明，節省時(shí)間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數，記錄長(cháng)度位移。第二束光用作直線(xiàn)度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩定性，測量?jì)x在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量?jì)x的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量?jì)x的長(cháng)期穩定性。測量?jì)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長(cháng)及長(cháng)度測量的影響，測量?jì)x還配有專(zhuān)門(mén)設計的多重數字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到小。

主要特點(diǎn)

1. 同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無(wú)線(xiàn)遙控傳感器長(cháng)的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統重量?jì)H15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間