API 進(jìn)口激光干涉儀(美國自動(dòng)精密工程)
激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合,可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅動(dòng)系統的響應特性分析,導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。
API激光干涉儀
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉(見(jiàn)圖)。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時(shí),探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí),在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
API XD干涉儀線(xiàn)性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數;
¾ 可利用電腦中的直線(xiàn)度實(shí)時(shí)顯示,
數字化去除余弦差,測量準確;
¾ 兩點(diǎn)調光,對光迅速
直線(xiàn)度測量— API XD的方法
應用良好的PSD技術(shù):光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉化為電信號)
¾ 不怕斷光,可用于導軌的安裝調試(類(lèi)似于自準直儀)
¾ 對直線(xiàn)度進(jìn)行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線(xiàn)性誤差一起測量, 方便, 快速
垂直度測量— API XD的方法
¾ API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線(xiàn)度測量的,所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可,無(wú)需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時(shí),兩軸各自的線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度,偏擺角、俯仰角都可一次測出,大大節省了測量所占用機床的時(shí)間,也可避免人為差錯。
偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法
¾ 良好的PSD技術(shù)來(lái)測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后,如果軸無(wú)角度變化,則光線(xiàn)經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上;如果軸有角度變化,則光線(xiàn)會(huì )在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標值,從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響,調整光路容易
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