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美國API激光干涉儀xd laser上海

Automated Precision Inc.（API）xd™激光干涉儀。它是一個(gè)多維激光測量系統。它同時(shí)測量線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度和滾動(dòng)誤差。它速度快，在大約80%的停機時(shí)間內進(jìn)行準確測量。例如，一臺1米體積機器的完整測量是在3到4小時(shí)內完成的，而不是3天。這樣有助于提高生產(chǎn)效率。

這臺機器是*無(wú)線(xiàn)的。以太網(wǎng)連接有1、3、5和6自由度配置。6維xd激光干涉儀可同時(shí)測量單個(gè)裝置的所有軸誤差。該系統還可以對速度、加速度、平行度、方正度和平面度進(jìn)行評估。所有這些特性使xd激光器不同于其他激光器。

它還有許多其他功能，如集成控制盒到激光頭，便于攜帶。實(shí)時(shí)氣象站補償。還有一個(gè)濕度傳感器。它有一個(gè)緊湊的激光頭和一個(gè)底板。您可以沿著(zhù)快速校準夾具的功能設置一個(gè)單一的光學(xué)直角度。

XD Laser™激光干涉儀簡(jiǎn)介：

XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計數，記錄準確長(cháng)度位置，第二束光作直線(xiàn)度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

為了保證激光光束的穩定性，測量?jì)x在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量?jì)x的橫向和角度漂移量都降到小，從而保證測量?jì)x的長(cháng)期穩定性，測量?jì)x配有自動(dòng)氣壓，環(huán)境溫度補償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長(cháng)及長(cháng)度測量的影響。測量?jì)x還配有站們設計的多重數字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到低。

XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數

5D/6D標準型：

1. 線(xiàn)性：0.5ppm .

2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

3. 線(xiàn)性分辨力：0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. 大范圍：800角秒

6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7. 直線(xiàn)度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線(xiàn)度大范圍：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 溫度精度：0.2攝氏度

11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無(wú)線(xiàn)遙控傳感器長(cháng)的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性。

5. 全套系統重量?jì)H15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時(shí)不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間