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API Xd激光干涉儀（測量六項誤差參數）

Xd激光干涉儀是wei一一個(gè)可以在一次設置中同時(shí)測量所有6個(gè)誤差參數的評估系統。一次安裝能夠同時(shí)測量線(xiàn)性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線(xiàn)度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應用結果表明，節省時(shí)間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無(wú)線(xiàn)遙控傳感器長(cháng)的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統重量?jì)H15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間

準確的數據采集：
      實(shí)時(shí)的誤差測量確保了數據采集的正正確性以及高精度的誤差分析自動(dòng)的數據采集技術(shù)，簡(jiǎn)化了數據采集的過(guò)程。

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。 
    若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí)，在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

應用：

XD Laser被來(lái)自世界名地的API用戶(hù)用于：
、CMMICNC的校準、補償
、機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
、垂直度的測量
、對角線(xiàn)的測量
、CNC反饋
、機器人位置反饋

API XD干涉儀線(xiàn)性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數;
¾ 可利用電腦中的直線(xiàn)度實(shí)時(shí)顯示,
數字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點(diǎn)調光，對光迅速

直線(xiàn)度測量— API XD的方法

應用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類(lèi)似于自準直儀)
¾ 對直線(xiàn)度進(jìn)行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線(xiàn)性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線(xiàn)度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無(wú)需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節省了測量所占用機床的時(shí)間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來(lái)測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線(xiàn)經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線(xiàn)會(huì )在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響，調整光路容易