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API XD6LS精密激光干涉儀

機床主要誤差：

圖為：使用XD Laser激光干涉儀實(shí)現多種檢測需求

API公司XD系列激光干涉儀型號：

        一維測量系統XD –1D標準型&精密型
        三維測量系統XD –3D
        五維測量系統XD –5D標準型&精密型
        六維測量系統XD –6D 標準型&精密型

良好的結構設計

API公司采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開(kāi)，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤(pán)定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線(xiàn)向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

主要特性：

??一次安裝能測量6項精度指標包括線(xiàn)性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線(xiàn)度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
??把反射鏡換成五棱鏡既可測量?jì)奢S間垂直度
??兩點(diǎn)調光線(xiàn).無(wú)需三腳架. 測量調整簡(jiǎn)單快速
??傳統激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時(shí)間；API干涉儀只約需半天!
??測量直線(xiàn)度/小角度/垂直度/轉臺時(shí), 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試

美國API軟件功能：

從初的系統校準到測量結果的審查.再到機床的空間精度補償，API軟件 都會(huì )無(wú)微不至地協(xié)助您完成測量工作:易于使用一- 界面設計明朗，讓操作者一目了然。高效多功能一無(wú)論您測量位置度.直線(xiàn)度.角度、平面度甚至是空間誤差補償以及數控程序，XD Laser和API軟件都將伴您左右，幫助提高您的生產(chǎn)效率。

技術(shù)參數：
  5D/6D標準型：
  1. 線(xiàn)性：0.5ppm .
  2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
  3. 線(xiàn)性分辨力：0.001um.
  4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
  5. *大范圍：800角秒
  6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
  7. 直線(xiàn)度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
  8. 直線(xiàn)度*大范圍：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 溫度精度：0.2攝氏度
  11.濕度精度：5%
  12.壓力精度：1mmHg