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隨著(zhù)半導體技術(shù)及微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，對精密加工技術(shù)及零件加工精度的要求也越來(lái)越高。定位誤差是影響加工精度的主要因素，而高精度的在線(xiàn)測量系統又是降低定位誤差的技術(shù)關(guān)鍵。傳統的非光學(xué)測量方法雖然能夠實(shí)現納米甚至亞納米的測量分辨率，但在溯源到米定義時(shí)，仍然需要利用激光千涉儀等光學(xué)方法進(jìn)行標定和校正"。因此在現代超精密加工設備中，普遍采用納米級分辨率的雙頻激光千涉儀進(jìn)行高精度位移測量。

美國api激光干涉儀，用于機床設備、測量?jì)x器及精密部件的線(xiàn)性精度、角度及回轉角精度的檢測和驗收。

測量長(cháng)距離（大于4m）直線(xiàn)度時(shí)，需換用長(cháng)距離直線(xiàn)度測量鏡。

連續生產(chǎn)與*方案：

        為了避免突然停機、停產(chǎn)，API公司為現代化的機加工車(chē)間提供*測量解決方案，也就是*方案。長(cháng)期以來(lái).車(chē)間管理人員一直以1D激光測量系統來(lái)繪制機床誤差圖及進(jìn)行校準。而這樣一來(lái)，想要測量完整的21項參數。則需要進(jìn)行21到24次單獨的安裝調試.而且每一軸的每一次測量都需要1-2小時(shí)時(shí)間.因此，整個(gè)機床的測量過(guò)程通常要占用兩到三個(gè)工作日.這就使得機床長(cháng)時(shí)間處于停工狀態(tài)，嚴重影響了車(chē)間的利潤率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就*避免了上述缺陷使得對機床的測量快捷、簡(jiǎn)便。

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項參數(線(xiàn)性、直線(xiàn)度、角度)都是溯源到國家和標準上的。這些精度都經(jīng)過(guò)美國國家標準局(NIST)、中國計量科學(xué)研究院和德國PTB等機構的檢驗-

        6D激光干涉儀主要由穩頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數，記錄精確長(cháng)度位移。第二束光用作直線(xiàn)度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩定性，測量?jì)x在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量?jì)x的橫向和角度漂移量都降低到z小，從而保證測量?jì)x的長(cháng)期穩定性。測量?jì)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長(cháng)及長(cháng)度測量的影響，測量?jì)x還配有專(zhuān)門(mén)設計的多重數字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到z小。

美國API 激光干涉儀使用介紹

(一) 硬件的安裝連接及調光 A. 安裝步驟 ? 首先將激光干涉儀放置于所需測量機器的工作平臺，讓激光照射 的方向大致與所測軸運動(dòng)方向平行。 ? 打開(kāi)激光干涉儀下面的磁力座開(kāi)關(guān)（如平臺非鐵件，需安裝一鐵 板以便磁力座更好的吸附）。 ? 將機器所測量軸移動(dòng)至近處軟限位位置。 ? 將 1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機器運動(dòng)狀態(tài)下穩 定不會(huì )晃動(dòng)的零部件上。（反射鏡與干涉儀均可作為運動(dòng)測量） ? 激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測測量軸在做全程運動(dòng)時(shí)能 有效的接收激光照射且不會(huì )碰到反射鏡及機器的任意部件。 B. 硬件連接注意事項 ? 在做硬件連接前請將電源開(kāi)關(guān)置于關(guān)閉狀態(tài) ? 氣象站接口（weather ）在連接前請務(wù)必注意方向性，拔出時(shí)請捏 住根部彈簧接口拔出，對野蠻插拔導致接口損壞，API 不予保修 ? 電源線(xiàn)接口（DC IN 12V ）有螺旋扣，在連接時(shí)需注意。 ? 在安裝好激光干涉儀后將水平與垂直方向的旋鈕調整至中間位置， 以確保在光路調整過(guò)程中兩個(gè)方向均有可調節的余量。 ? 氣象站材料溫度傳感器和空氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請 放置于機器的工作臺面上。 C. 光路調節步驟 1. 將反射鏡前面的旋轉蓋進(jìn)行旋轉，讓旋轉蓋上的白點(diǎn)置于下方 2. 移動(dòng)機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動(dòng)至兩者近端 3. 借助機器的控制手柄或手輪移動(dòng)其他兩個(gè)軸，讓激光干涉儀的 光線(xiàn)照射在反射鏡的白點(diǎn)位置，如無(wú)控制手柄可借助的情況下 請調節反射鏡處的磁力座或十字插接件上的連接桿進(jìn)行移動(dòng) 調節 4. 移動(dòng)機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動(dòng)至兩者遠端 5. 如果激光照射在 白點(diǎn)水平位置距離偏差過(guò)大致使調節旋鈕超 越可調范圍，請松開(kāi)激光干涉儀下方的磁力座開(kāi)關(guān)，移動(dòng)干涉 儀適量角度確保激光照射在白點(diǎn)垂直線(xiàn)上 6. 此時(shí)調節激光干涉儀主機右側及下方的調節旋鈕，使激光光線(xiàn) 照射在反射鏡白點(diǎn)的中心位置 7. 重復 2、3、4、6 步驟，來(lái)回往返數次，讓激光全程照射在反 射鏡白點(diǎn)中心，此刻初次調光完成，將反射鏡前端的旋轉蓋進(jìn) 行 90 度或-90 度旋轉致使白點(diǎn)置于左右兩側 8. 打開(kāi)軟件主界面，線(xiàn)性光強窗口條幅深綠色，數值 100% （機 器測量軸全程運動(dòng)時(shí)），1D 的配置的激光干涉儀即可有效的測 量線(xiàn)性精度 .....