6D激光干涉儀誤差分析工作原理 美國api激光干涉儀,用于機床設備、測量?jì)x器及精密部件的線(xiàn)性精度、角度及回轉角精度的檢測和驗收。API公司XD系列激光干涉儀的各項參數(線(xiàn)性、直線(xiàn)度、角度)都是溯源到國家和標準上的。
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